二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9364576 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8光刻設備是設計用於半導體光刻工藝的強大工具。利用激光感應熱成像技術，為開發人員提供了在半導體基板上精確陣列電路結構的能力。TEL MARK8能夠在晶圓平面上以248或365 nm的波長將基板暴露在紫外線下。這樣可以形成具有高度可重復性和對原始設計保真度的小特征。此外，該系統還可用於暴露其他波長包括激光輻射和偏振光的基板。該單元還具有許多用於控制制造過程的高級功能。這包括控制曝光的焦點，可以調整以方便晶圓上結構的最高分辨率。此外,TOKYO ELECTRON MARK-8還可以產生多次曝光,以創建具有最佳覆蓋範圍的所需模式。此外,還可以使用機器的「層停止」功能來限制對某些層的曝光,從而確保生成的圖樣具有正確的尺寸和形狀。TOKYO ELECTRON MARK 8還支持一系列光刻工具和技術，允許對能量和焦點等過程變量提高精度和控制。其中包括用於形成亞微米結構的0.3微米分辨率接近成像、離軸照明技術以及能夠形成高特征密度的堅固結構的多次曝光混合工藝。總體而言，Mark 8工具是半導體光刻工藝的重要工具。它能夠產生極其精確的結果，即使特征小於微米。該資產支持多種先進的光刻技術,並提供一系列強大的自動化功能。這使得它成為任何希望在半導體基板上創建復雜結構的開發者的寶貴工具。