二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9364577 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8是一款用於半導體器件制造的光阻設備。該系統設計用於加工直徑可達450毫米的基板，並能夠將光刻膠層暴露在厚度可達數微米的基板上。TEL MARK8設備具有多種功能,可確保光掩模曝光過程準確且可重復。該機器由圖像投影工具提供動力,該工具提供高達1 kV的超高分辨率,使用精確的光學資產設計來生成高達2 mJ/cm2的圖像分辨率。此外,該模型還采用了先進的過程自動化技術,如自動對齊（Auto-Align,自動對齊基板以提高準確性和可重復性）,以及自動優化（Auto-Optimization）,自動調整曝光參數以確保最佳工藝條件。設備還配備了運行各種診斷的先進計算機系統，如監控應用程序、曝光條件、掩模對準等參數。這使操作員能夠排除問題並確保光刻過程穩定。為了確保在使用時的安全，TOKYO ELECTRON MARK-8光致抗蝕劑裝置的設計具有機載粒子感應和圖像投影機上的保護罩等多種安全特性。此外,該工具還配備了各種保護功能,使其能夠檢測與暴露相關的潛在錯誤,並在發生錯誤時立即切斷電源。最後,該資產設計為易於使用,具有用戶友好的圖形界面和全面的文檔以提供操作指導。該模型還準備好了一個預先編程的設置庫，以確保最佳的過程條件。總體而言，MARK-8是用於半導體器件制造的完美光刻設備，因為它具有高精度、可重復性、安全特性、易於操作和預編程設置。