二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #293592869 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是一種光阻設備，設計用於對多達4英寸的晶圓進行直接成像。該系統的主要部件是其超高倍投影光學器件、精密級以及集成PC和軟件。TEL MARK II的投影光學器件提供高達814mm × 1.2mm的高分辨率成像能力,放大倍率高達1.75。它的成像鏡頭是由集成鹵素燈照射的多元件變焦。透鏡的雙光學截面促進了低倍率和高倍率成像。此外，鏡頭具有閉環自動快速變焦操作，可以在不同的放大倍率級別之間快速移動。TOKYO ELECTRON MARK II的精密級是為了平穩的操作和快速的光刻運動而設計的。該裝置利用壓電驅動的電動機以高達每秒1mm的速度精確移動晶片級。舞臺由一臺內部內存機器管理，該機器最多存儲10,000個晶圓坐標，並允許用戶在它們之間快速移動。該工具的集成PC和軟件可以處理多種圖像格式，並且對於不同的晶圓尺寸易於編程。它還提供了高級剪接功能,可無縫地將來自晶圓不同部分的圖像縫合在一起。該軟件還提供可編程曝光測序、自動對焦和可調成像參數等高級功能。MARK II非常適合對多達4英寸的晶圓進行高效、精確的光刻成像。它的超高放大光學和精密級提供了所需的準確性和分辨率,而其PC和軟件則提供了多種高級成像功能。
還沒有評論