二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #293662824 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是市場上最先進的光刻膠系統之一。它用於在基板（通常是半導體）上創建平版印刷圖樣。TEL MARK II設備使用兩個主要組件來完成此操作：紫外線源和射影光刻透鏡。紫外線的光源被用來照射覆蓋基板的光敏光敏材料。然後使用投影光刻透鏡將這種光聚焦到基板上，在表面上形成高度精確的圖案。TOKYO ELECTRON MARK II系統設計用於要求嚴格控制光照射和精確模式定義的應用。以高分辨率的方式掃描光掩模，以確保模式的最佳定義，並且所使用的光源被設計為最大的一致性。此外，光刻膠可以以不同的圖樣自動分配到基板上，從而完全控制圖樣的定義。MARK II單元設計為完全集成,為光刻膠工藝提供了一個緊湊、高效和經濟高效的解決方案。無需打開設備即可更改photomask,並且該機器包含用於模式比較和結果歸檔的圖像輸出選項。該工具由先進的自動化資產控制,可以快速、輕松地設置配方和操作。TEL/TOKYO ELECTRON MARK II型號還提供了一系列配件，包括自動減速器、邊緣斜角器和旋轉器。這些附件有助於確保光刻膠工藝的準確性和可重復性。TEL MARK II光刻膠設備也與先進的過程控制系統完全兼容，例如EDAX信號處理軟件，允許對光刻膠過程進行進一步的復雜和控制。總體而言，TOKYO ELECTRON MARK II光刻膠系統是一種高度先進、自動化的先進光刻工藝解決方案。該單元的設計符合準確性和可重復性,其特點、附件以及與高級工藝控制系統的兼容性為復雜且要求苛刻的光刻應用提供了所需的靈活性。
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