二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #293748580 待售

TEL / TOKYO ELECTRON MARK II
ID: 293748580
Coater / Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是一種用於制造半導體元件的光刻膠系統。它是一種用於從多晶矽、二氧化矽和半導體工業中使用的其他材料創造最新一代集成電路(IC)等產品的工藝。系統的工作原理是將所需的設計或圖案蝕刻到基材上,通常是通過光照過程。TEL MARK II使用兩束光子曝光系統,用兩束光束照亮基材的表面。當光線穿過遮罩時,它在基板材料上形成初始設計圖案。光束對準頻率相關的接觸遮罩級,它們的重叠在基板上創建所需的圖樣。使用TOKYO ELECTRON MARK II,底物材料可以以適當的強度和焦點暴露在光線下,確保光刻材料的均勻塗層和適當的蝕刻深度。這種光致抗蝕劑用於保護基材材料在工藝後期不被蝕刻掉。蝕刻過程中,光致抗蝕劑材料充當光的吸收劑,使蝕刻速率得到精確控制。MARK II還包括光刻膠顯影劑,它使用溶劑去除了基板上暴露的光刻膠材料。這進一步有助於控制蝕刻速率,方法是確保保持所需的蝕刻速率,而不會降低或過度蝕刻設計。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON MARK II為半導體行業創造最新一代的IC和其他產品提供了可靠有效的工藝。其兩束光子曝光和光刻顯影劑顯影劑系統確保了準確和精確的結果,有助於生產高質量和可靠的產品。
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