二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9181759 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是一種深紫外線（DUV）的光致抗蝕劑設備，設計用於生產先進的半導體器件。該系統包括一個功能齊全的混合電子束和一線離軸曝光源，以及一個全自動抗蝕劑和蝕刻加工站。該單元非常適合尋求縮短設備制造周期的半導體工程師,同時提供高質量的結果。TEL MARK II配備了先進的電子束寫入引擎，提供低能量密度，使抵抗散射最小化，並允許暴露超窄特性。可以進一步優化光束源,以便對50 nm以下的特征進行高效制圖。通過離軸I-line曝光源增強曝光源,使您能夠在單個步驟中快速曝光整個陣列區域。這臺機器不僅僅是一個曝光源.它還旨在減少生產時間和提高工藝產量。它配備了高度自動化的抗蝕劑塗層、烘焙和開發工具，以及一個適應蝕刻加工模塊。這使用戶能夠以最少的人工幹預來執行整個流程序列。這確保了可靠且可重復的陣列處理過程。TOKYO ELECTRON MARK II具有先進的用戶友好控制軟件，基於圖形用戶界面（GUI）。GUI旨在縮短可操作性時間,並允許即使是最復雜的處理序列也能快速直觀地控制資產。總體而言，MARK II是一款先進的DUV光刻模型，能夠處理最具挑戰性的圖案要求。它使用戶能夠減少過程時間、提高產量和提高設備生產質量。該設備非常適合那些希望在可靠性和可重復性方面擁有完全信心的超低分辨率設計產品。