二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9226101 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是利用光刻技術工藝的高端光刻設備。光致抗蝕劑是一種先進的微細加工方法，可以得到非常精確的結果。TEL MARK II系統設計用於制造半導體芯片，包括先進的光刻元件組合。它利用了兩個主要要素；無遮罩對齊器和步進器。無掩蔽對準器是一種將光掩蔽的光柵結構暴露於光源的光子流中的裝置。光掩模的對準由一系列反射鏡和檢流計精確控制。步進器允許在基板上精確放置圖樣。步進器具有可移動級和一系列計算控制的電動機，這些電動機可以精確地控制基板的放置。此外,步進器還配備了激光對準和對焦單元、對準光以及具有可調脈沖寬度的光束增強器,以實現更高分辨率的成像。TOKYO ELECTRON MARK II也可以配合光刻膠處理室使用。該室是一個密封設施，在其中光敏材料被處理和應用到樣品基板表面。在光刻加工階段可以使用多種工具，如自旋塗層、氣體活化、蝕刻、幹膜開發等。MARK II機是光刻工藝的理想選擇，因為它提供了可靠和精確的結果。此工具的組件匹配良好,因此可用於創建高精度和高效率的納米尺寸電路。此外，還可以對TEL/TOKYO ELECTRON MARK II資產進行專業維修，從而能夠在最短的停機時間內制造出精密的元件。