二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9226205 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是由日本電子公司TEL開發的光刻膠設備。該系統是一種半自動全場成像技術，旨在提供光刻膠市場上最高程度的過程可重復性和靈活性。它是現有最全面的光刻膠系統之一，提供多種功能和高級功能。該單元的主要部件是對齊器、舞臺和抵抗站。對齊器使晶圓對齊過程自動化，減少了樣品定位所需的時間。它還通過消除在手動對齊過程中可能發生的錯誤來提高吞吐量。該級采用三軸定位器，可實現最大吞吐量和精確定位，並具有納米分辨率。抗蝕站是一種全自動機器，能夠同時分配幾種抗蝕劑，從而提高吞吐量，降低成本。TEL MARK II工具還包括掃描儀和計量功能,使用戶能夠獲得許多參數的詳細定量測量,包括薄膜厚度、材料類型和地形。該資產具有晶片處理模型，其中包括一個通用持有人，該持有人不僅能夠支撐傳統晶片，而且能夠支撐廣泛的其他基材，包括MEMS晶片、粘合晶片和薄膜圖樣。TOKYO ELECTRON MARK II還提供了先進的控件，允許用戶監視、分析和修改光刻膠工藝。先進的過程控制,例如設備的單低功耗模式,允許用戶以盡可能低的功耗級別運行進程來節省能源。此外,系統還提供高級監控功能,允許用戶查看來自各個流程步驟的實時數據,並即時調整流程參數。MARK II確保了高精度的結果,且變化程度低,從而降低了成本和時間。這些特性結合其靈活性，使得該單元成為光刻加工的可靠高效的工具。