二手 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9226207 待售

TEL / TOKYO ELECTRON MARK II
ID: 9226207
晶圓大小: 6"
優質的: 1989
Developer, 6" 1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK II是為開發先進的電子電路元件而設計的光刻設備。該系統利用特殊激光束對介電和金屬薄層進行制圖和蝕刻的新工藝。利用這種激光束,一層薄薄的光致抗蝕劑被圖案化到一個基板上,比如矽片。這種光致抗蝕劑起到屏蔽作用,保護底層電路組件免受有害蝕刻和加工液體的侵蝕,而激光圖樣則允許蝕刻過程定位在某些位置。該光敏裝置具有高精度、高速的圖樣檢測和精細的圖樣形成能力,適用於半導體制造、印刷電路板(PCB)制造、MEMS(微機電系統)器件制造等應用。此外,TEL MARK II有一個批處理模式功能,允許在一個過程中對多個基板進行圖樣化,以及一個可以輕易改變外來芯片的圖樣大小的全場圖樣功能。TOKYO ELECTRON MARK II具有改進、高精度和高速對準的機器,可以準確、快速地檢測圖樣區域基板的方向和尺寸。該工具還具有自動對焦和顯微鏡集成資產,可以進行更精確的模式檢查。此外,該型號還提供了一個集成的鏡頭自動填充設備,可以用給定的材料快速填充任何區域。這就把猜測排除在沈積過程之外,因為填充所需的材料可以提前編程。特殊的MARK II鏡面移位系統使激光束能夠精確進入所需區域。最後,TEL/TOKYO ELECTRON MARK II單元非常適合原型設計,因為它采用了自動晶圓傳輸和高效的自監控功能。這使制造商能夠快速設計和改進電路組件,而無需手動將材料從一個工藝轉移到另一個工藝。此機器還提供了改進的邊緣間隙和公差,進一步改進了原型設計功能。總體而言,TEL MARK II工具是一種先進的光刻資產,可提供高精度和高速的圖樣檢查、精細的圖樣形成以及集成的自動填充和鏡像移位系統。該型號適用於廣泛的應用,如半導體和印刷電路板制造,以及原型制作。
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