二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark IV #293669153 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK IV光刻設備是一種綜合性的解決方案，旨在實現先進的光刻工藝，如深紫外線（DUV）、接觸光刻和光學接近校正（OPC）。該系統能夠用晶圓制造復雜的高分辨率集成電路。TEL Mark IV集成了多種工藝工具，如多波長投影曝光工具、垂直軌跡、光刻膠軌跡和自動抗蝕劑處理單元，形成單一平臺。多波長投影曝光工具可以在光刻膠中出現的晶片上繪制復雜的圖樣，如器件布線和形狀。該機采用激光照明和電子束照明相結合的方式，提供了像0.3DUV一樣薄的線寬繪制能力。垂直軌道負責過程控制，在晶片暴露於投影工具時管理其定位和定向。高級算法，如OPC，被用來優化模式，以達到所需的線寬，並在晶圓上打印均勻的圖像。光刻膠磁道控制光刻膠的發展和紡絲，以適當的發展和蝕刻晶片。自動抗蝕劑處理系統對晶片在加工的每一個階段的處理和儲存提供精確的控制--從晶片的裝卸到必要的抗蝕劑的分配，以確保制造過程中的統一開發。TOKYO ELECTRON MARK IV為光刻工藝提供了一個全面的解決方案，使IC設計者能夠在保持高分辨率和準確性的同時利用先進技術。該資產可用於制造晶體管、內存芯片、邏輯芯片、基於單元的邏輯芯片和各種其他類型的IC。其適應不同工藝流程的能力和緊湊的設計使其成為大批量制造商的理想選擇。該模型以TEL和TOKYO ELECTRON多年的業界領先經驗為後盾，旨在提供一致的結果和最大的制造效率。