二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark IV #9282004 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK IV是通常用於半導體器件制造的光刻設備。它是一個與平臺無關的系統，支持廣泛的基板，如矽片、復合半導體和絕緣體上矽（SOI）晶片。該單元設計用於廣泛的應用，包括光掩模、直接成像、光刻、薄膜沈積、蝕刻和多通道光刻。TEL Mark IV光刻機具有高分辨率的光學成像工具，可配置各種基材尺寸。該資產配備了自動化的電動舞臺，使其適合高通量的流程。另外，TOKYO ELECTRON MARK IV有內置照明模型，允許不同角度和強度的基板照明。設備的一個主要特點是它的模塊化軟件包，它提供了一系列選項來定制Mark IV到特定的應用程序。它可以配置一個平臺上的塗層單元，使用戶能夠控制抵抗塗層的條件。此選項還包括手動和自動化的旋轉塗層工藝和等離子體激活的抗蝕劑工藝。此外,還可以使用可選的階段加熱裝置來實現溫度控制。TEL/TOKYO ELECTRON MARK IV是一種快速易用的系統，非常適合原型設計和開發。該裝置具有高精度和高速成像，即使基板復雜，也能提供優異的效果。此外，機器可以被配置為各種進程，允許它在廣泛的應用中使用。