二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149603 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一種光刻加工設備，設計用於先進半導體器件制造的光刻工藝。它提供了增強的抵抗特性控制和先進的表面平面化功能。TEL Mark V能夠精確、精確地處理高密度的抗拒設計和細膩的特性。該系統采用具有加熱和冷卻階段、多個氣源和其他組件的閉環單元，創造清潔、溫度控制和無汙染物的環境。它能夠處理到非常高的精度和過程可重復性，包括運動均勻性、溫度和濕度控制以及表面平面化。該機經過優化，實現了高精度的光刻塗層和蝕刻。它包括一個抗蝕劑混合室，一個旋轉塗層頭，一個抗蝕劑剝離工具，和一個熱板，以幫助去除抗蝕劑。其他功能包括阻擋幹燥室、蝕刻室和用於設備後冷卻的冷卻器。TOKYO ELECTRON MARK-V設計了集成的用戶界面,使設備工程師能夠輕松調整和修改設置,以滿足特定的光刻要求。它允許速度和溫度、壓力、浸入時間和功率水平等參數的快速變化，以實現精密蝕刻和塗層工藝。此外,MARK-V還配備了復雜的流程監控資產,可提供有關流程和故障狀態的實時反饋,並確保對可重復的設備制造進行嚴格的流程控制。此型號還自動調整設置,以確保設備的最佳性能。總之，TEL MARK-V光刻膠系統是一種先進的器件制造工具，具有很高的精度和工藝重復性。其集成的用戶界面和板載工藝監控單元使其能夠適應一系列光刻要求，而其眾多功能則支持蝕刻和抗塗層等先進工藝。TOKYO ELECTRON MARK V提供了可靠高效的光刻加工機器。