二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149604 待售

ID: 149604
(2) Coater / (1) Developer, i-Line.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一種專門用於電子制造光刻的光刻加工設備。該系統能夠產生細小部件的細小圖案,尺寸可降至0.35毫米。TEL Mark V是一種光學對準單元,利用光將光掩模暴露在基板上,允許產生精細的圖案。鏡子從背面提供曝光,可調節的狹縫提供精細聚焦。高精度投影透鏡將光掩模的圖像投射到基板上生成圖樣。此外,還使用高端CCD攝像頭對曝光偏差進行精細對準和校正。TOKYO ELECTRON MARK-V光刻機設計為高度模塊化,允許自訂組裝零件以滿足任何特定需求。這種靈活性允許設置各種曝光參數,包括分辨率、焦點和光照水平。它具有許多特點,有助於確保光刻的準確性。自動對準功能,加上高精度的投影鏡頭,導致更好的分辨率和曝光精度。也可用於快速加工大型基材。此外,TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V設計了靈活的用戶界面。使用用戶友好的圖形用戶界面(GUI)可以對每個模塊進行獨立的控制和故障監控。此外,內部內存的存在允許長時間的曝光,從而為較厚的抗蝕層提供足夠長的處理時間。TOKYO ELECTRON MARK V是一種可靠、精確的亞微米圖樣光刻工具。它提供卓越的分辨率、準確性、靈活性和性能,適用於先進的光刻和制造工藝。這一具有成本效益的光刻膠資產是現代半導體生產和先進研究應用的理想之選。
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