二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149605 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V光刻設備是下一代光刻系統，采用最新的光學設計、微加工和半導體加工技術設計。TEL Mark V能夠在微電子上以更高的精確度和可重復性再現圖樣，非常適合半導體芯片和微芯片制造。由TEL Ltd.開發的TOKYO ELECTRON MARK-V是一個專用的單元，用來在半導體晶圓上施加光刻膠。光致抗蝕劑是指一種可以通過暴露於輻射能而選擇性去除的材料，使其成為半導體制造中使用的必要材料。TEL MARK-V機器利用這種特殊的材料以驚人的精度和可重復性創建電路模式。TOKYO ELECTRON MARK V工具能夠用多種光刻材料以極小的尺度再現複雜的圖樣，也能有效的自旋塗覆更大的晶圓。MARK-V的特點包括高精度級、可編程轉換表和高級光學資產。旋轉木馬式舞臺能夠容納直徑不超過4英寸的晶片。四步進電動機驅動表可以用多種配方和自動可重復的移動來編程，用於精確放置元件和材料。為了進一步確保精度，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V利用新開發的光束模型和高度穩定的激光。激光光束通過貓眼透鏡陣列和光纖有效地傳遞到工件上。為了減少生產所需的時間,Mark V能夠同時運行多個相同的配方,從而提供高吞吐量和減少工藝時間。清潔通過TEL/TOKYO ELECTRON MARK V的車載高端EPC（靜電沈澱清潔器）和帶有標準耐化學噴嘴的真空卡盤設備完成。TEL Mark V是一種高能力、超精確的微型元件先進的光刻膠系統。憑借其強大的功能、高吞吐量的能力和先進的光學設計，這款新一代設備的設計旨在確保半導體芯片和微芯片組件的最佳精度和可重復性。