二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293591398 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是使用光源在半導體表面上創建電路圖樣的光刻設備。該系統通常用於未來的設備制造和研發過程。該單元的光源由一個掃描激光器組成，該激光器將其輸出光束到一個已塗有光刻膠的半導體晶片的表面上。激光利用不同的偏轉角度在晶圓上產生不同的圖樣。光致抗蝕劑是一種輻射敏感材料，吸收激光，配制成與激光強度發生反應。通過改變偏轉角度，可以產生具有較小特征的高分辨率電路模式。激光光學器件采用透鏡拋物線排列，並采用平行板排列。TEL Mark V還具有幾種類型的集成光學元件，包括用於更高精度控制的遠心鏡頭。激光器還具有延長的焦距以獲得更好的照明，並且可以調整以自動微調焦距。TOKYO ELECTRON MARK-V還具有多種不同的對準功能，如激光束對準機（LBAS）來編程對準測量，並使用多種不同的曝光後方法來微調過程。TOKYO ELECTRON MARK V還具有專有的掩碼數據接口（MDI）層，以加快各軟件層之間的數據交換。這允許來回發送數據,從而提高了設備的吞吐量。該工具還包括一個清潔室兼容的曝光/對齊站，可以在各種拓撲中進行配置，以適應不同的吞吐量要求。該資產能夠使用單個晶片曝光設備或使用同步技術在多個晶片上曝光。Mark V的主要優點是吞吐量高、功能尺寸小、處理復雜數據傳輸的能力。它非常適合先進的設備制造和研發過程。