二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293596565 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一種先進的光刻膠系統，用來在各種底物上製造複雜的圖樣。它是一種多用途的機器，能夠在從半導體晶片到平板顯示器的各種材料上產生圖像。TEL Mark V使用多種技術在晶圓上蝕刻或暴露光刻層，允許精確成像和圖樣。該機的一個關鍵特點是它能夠采用平板材料，並以高分辨率精確的模式。光致抗蝕劑是一種光敏塗層，塗在基板上，在暴露於光線下形成圖樣。使用TOKYO ELECTRON MARK-V時的第一步是在基板上鋪設光刻膠塗層。這一步驟對於圖樣傳遞至關重要，應謹慎準確地完成，因為光致抗蝕劑對所用光的選擇和濃度敏感。接下來，Mark V使用一系列成像光學器件，例如激光，將所需的圖案投射到光敏層上。這些光學器件允許精確和精確的圖案，激光能夠產生非常小的圖案特征。下一步是將底物暴露在與光刻膠層反應並形成所需圖樣的洗滌器顯影臺階上。TEL MARK-V也能夠進行光刻加工循環的其他階段，如蝕刻和硬烘烤。蝕刻是去除光刻膠層的過程，而硬烘烤則涉及在高溫下烘烤光刻膠層。這兩個過程都發生在TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V腔室，這些過程的溫度和時間可以通過軟件控制。最後，基板準備使用。TOKYO ELECTRON MARK V是一種可靠、高效、精確的光刻膠系統。MARK-V憑借其先進的成像光學器件和控制光刻膠加工各階段的能力，能夠為各種基材制作出高質量的圖樣。它高效、精確的陣列設計功能使其成為需要精確成像的制造商的熱門選擇。