二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293596582 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V是一種用於半導體制造的多功能光刻設備。它是一種先進的計算機控制的集群工具，能夠處理各種各樣的基材。利用電子束技術，它能夠高精度地制圖到150納米。該系統可用於處理長達8英寸的晶圓尺寸，以及單個或多個基板。內置掃描儀可實現高分辨率模式的高速映射和對齊。它還具有內置的液晶成像單元和光學顯微鏡，以實現高精度聚焦光掩模。TEL Mark V使用V-CVD工藝，是化學氣相沈積的一種變體。這個過程阻止了聚合物的氧化和沈積，這會造成表面缺陷。它還能確保均勻的表面層,提高晶圓產量.TOKYO ELECTRON MARK-V還配備了漂移補償技術，允許精確的光束定位，以創建高分辨率的圖樣，不存在任何位置誤差。為了獲得最大產量，它還附帶了先進的優化算法，以確保最佳劑量和焦點設置。該單元包括用於大面積陣列和可編程熱場的大功率電子源，以避免模式失真。Mark V配備了最新的光掩模處理技術，可用於從液晶到超大規模半導體電路和下一代半導體器件等應用。該機也是便攜式的，非常適合生產線中的應用。此外，它還受到IP44等級的保護，防止顆粒、灰塵和液體進入工具。最後還得益於先進的安全措施，包括護墊損傷和氧化防護。