二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293620464 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是用於制造半導體和印刷電路板微電子電路的光刻設備。該系統旨在快速、準確地將圖像顯影到矽、金屬、玻璃和石英等基板上。它使用激光驅動的透射曝光技術，可以產生特征尺寸小於一微米的集成電路。TEL Mark V利用電子束蒸發過程，能夠產生高長寬比特征。這是通過使用聚焦激光二極管將圖樣直接寫入基板上的光敏層來實現的。曝光單元由曝光床、光學元件和旨在精確調整曝光強度、位置和持續時間的控制器組成。基板安裝在一個旋轉的曝光床上，這樣就可以進行更高效的圖像編程。該機還配備了最先進的拋光和蝕刻工具。這種設備使用戶能夠在基板上實現高度均勻的圖案，並保持從批次到批次的一致表面光潔度。該工具能夠產生具有均勻晶體結構和緊密尺寸公差的高精度結果。這是由於使用了高級自動聚焦功能,該功能在曝光期間自動調整光束的焦點。該設備還采用了先進的溫度控制算法，能夠準確控制抗蝕層溫度，從而實現最佳分辨率。TOKYO ELECTRON MARK-V通過先進的軟件和直觀的圖形用戶界面提供增強的用戶體驗。這為用戶在風險敞口資產中提供了更好的控制和生產率。該模型旨在支持各種基板尺寸和厚度,以及超高長寬比功能。它還提供了高級網絡和遠程監視功能,使用戶能夠跨多個站點和時區協同工作。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V高度可靠,旨在最大程度地減少產品停機時間。這是由於它能夠從外部條件或設備錯誤造成的故障中恢復。該系統還有一個內置的安全監控單元，在發生任何故障時自動關閉機器。