二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293620469 待售

ID: 293620469
晶圓大小: 5"
優質的: 2010
Coater / Developer system, 5" Non-SMIF Control rack 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一種光刻塗層設備,設計用於開發最靈敏、最具挑戰性的光刻塗層基板。它是一種高性能、高精度的系統,可以在基板上塗覆多種光刻膠。TEL Mark V具有許多特性,使其在基板上應用光刻膠時能達到最大精度和效率。TOKYO ELECTRON MARK-V具有精密的塗層機理,能提供精確而一致的厚度、寬度和覆蓋面。塗層也受到嚴密監控,以便快速識別和校正塗層質量的任何變化。這樣可以確保光刻膠與均勻塗層一起正確塗抹。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V還有一個精密的控制單元,可以對塗層參數進行精確的控制。這包括對塗層工藝的速度、壓力和角度的精確控制。控制機還有助於確保塗層過程平穩運行,並確保光刻膠層的應用正確。TEL MARK-V的另一個特點是它能夠精確測量塗在基板上的光敏塗層的厚度和均勻性。該工具使用精確、自動化的光譜和厚度測量來幫助確保光刻膠層的應用正確。這有助於最大限度地減少過度塗層或塗層下造成的缺陷。MARK-V還提供了一些額外的功能,幫助它實現高水平的準確性和效率。其中包括高速塗層資產、廣泛的光刻膠特性以及可根據特定用戶要求量身定制的一系列可選配件。總體而言,TOKYO ELECTRON MARK V是一種高度先進的光刻膠模型,旨在為基材提供精確一致的光刻膠塗層。其高精度的塗層機構、精密的控制設備和精確的測量能力有助於確保光刻膠層的正確應用。Mark V提供的各種特性和可選配件使其成為尋求高質量的光刻塗層基板塗層者的理想選擇。
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