二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293646085 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 293646085
(2) Coater / (2) Developer systems.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V光刻膠設備是一種高性能晶片製造系統,旨在在半導體晶片上快速且精確的開發和處理光刻膠圖樣。TEL Mark V單元使用先進的激光和成像技術進行快速、準確和一致的光掩碼播放。它使用戶能夠在具有絕對可重復性和最小浪費的光刻塗層晶片上創建、存儲和復制圖樣或設計。該機的掃描激光光刻能夠使用多個激光波長和可變狹縫位置,使得復雜的光掩模設計能夠以非常高的精度回放。此外,還可以將該工具配置為同時使用步進重復模式和重復飛行模式,以進一步提高晶圓吞吐量。TOKYO ELECTRON MARK-V資產還配備了先進的圖像分割算法,它允許單個光掩模在許多晶圓片上進行分割。此功能可讓製造商最大限度地利用晶圓,減少周轉時間。最後,TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V光刻膠型號還配備了強大的視覺設備,用於自動檢查成品光刻膠圖案。該系統提供每個晶片條件和幾何形狀的實時反饋,以確保整個過程中的速度和精度。總體而言,MARK-V光阻裝置為用戶提供了一個強大、可靠和經濟高效的晶圓制造平臺。其先進的激光和成像能力可實現精確和可重復的光掩模回放、圖像分割和檢查,從而為半導體晶片上的復雜圖樣形成提供可靠和經濟高效的系統。
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