二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293656063 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V是為半導體器件制造中正光刻應用而設計的光刻設備。由TEL, Ltd.開發的TEL Mark V是一套全面的晶圓制造解決方案的一部分,非常適合需要復雜自動化和控制級別的公司。TOKYO ELECTRON MARK-V系統具有高速激光束掃描儀，可以在任何基板類型上運行30 μ m，而無需額外的聚焦透鏡。它能夠提供精確的光強度控制,集成到全場光強度調制中,以產生高度一致的尺寸和形狀的極其精細的圖案。此外，Mark V適用於各種類型的光刻材料的廣泛曝光，包括光刻膠、含氟聚合物和光刻膠模具。MARK-V設計為具有高級吞吐量優化程序的最大吞吐量,可確保每個暴露序列的暴露時間一致。先進的過程控制算法和後端分析工具使用戶能夠快速檢測和響應問題,以保持產量。此外，單元操作員具有實時發現異常的能力，即使在曝光過程中，使用預測趨勢顯示。該機由專業級處理器板提供動力，提供了高度的精確度和精確度。這有助於確保正確校準工具的所有組件並有效運行。處理器主板還設計用於同時處理多個曝光序列,從而使用戶能夠最大限度地提高生產效率,同時最大限度地降低總體成本。除了硬件組件外，TOKYO ELECTRON Mark V資產還附帶了一系列進一步簡化模型操作的軟件包。用戶友好的軟件套件包括高級圖像采集和模式註冊工具，以及後處理軟件，使用戶能夠設計自己的模式或利用預先定義的模式實現預期的結果。TEL MARK-V的核心是使用戶能夠快速準確地為其應用制作完美的光刻圖案。該設備具有強大的硬件、處理能力和先進的軟件,可幫助確保從任何生產過程中獲得最佳結果。