二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293657043 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是用於光刻工藝制造半導體集成電路的先進光刻設備。該系統包括掃描儀、光學單元、控制器、真空裝置和工藝室。TEL Mark V掃描儀能夠在尺寸不超過200 mm的基板上提供亞微米分辨率。它裝有二氧化碳激光器，以實現更快的成像和更高的精度。光學機器包括鏡子、透鏡和光圈,用於激光光束的操作.控制器負責在腔內執行可編程運動，可用於控制掃描儀頭和光學器件或將基板送入加工室。真空裝置提供了工具操作所需的低壓環境。它能夠在加工室內保持1-3Pascals的壓力範圍。該工藝室用於光刻工藝，激光光束被引導到基板上，並施加光刻膠。該資產能夠調節腔室內產生的溫度，並配有冷卻介質。這確保了光致抗蝕劑均勻地分布在基板上，並防止任何燃燒暴露期間。TOKYO ELECTRON MARK-V是一種適用於光刻工藝的有效光刻膠模型。它在生產半導體集成電路時提供行業標準的分辨率和準確性，並得益於先進的光學、溫度和壓力控制。