二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293752295 待售

ID: 293752295
晶圓大小: 6"
Coater / Developer system, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一種光刻設備,用於開發和加工用於制造電子零件的光刻零件,如微芯片。該系統包括三個主要組成部分:光源、顯影機和光阻條。光源發出特定波長(或多個波長)的光,這是開發和蝕刻光刻零件所必需的。顯影機具有一次加工多個光刻膠條的能力,能快速將光刻膠塗抹到基板上。這有助於減少生產蝕刻零件所需的時間。光阻條是一種特定類型的用於蝕刻的材料,包含一層紫外線敏感材料,在暴露於光源發出的紫外線後得到開發和硬化。在將所需的圖樣蝕刻到基板上之前,光刻膠條經過一系列步驟。在處理過程中,光刻膠帶在光源下通過,光源直接向材料發射紫外線,使其在特定區域變硬。然後,顯影機將顯影劑溶液應用於光刻材料,顯影劑溶液穿透未硬化的區域,有效地去除材料並將所需的圖樣蝕刻到基材中。在開發之後,蝕刻過程開始,選擇性地將材料從基材中移除,以便創建所需的零件。完成後,將在顯微鏡下檢查零件,並將其分類為「通過」或「失敗」。如果任何零件未能通過檢查,則會將其從批次中移除,然後重新加工或重新加工。完成後,將生成一個報告,其中包含有關部件運行和保留的拒絕量的詳細信息。然後將此信息轉發給客戶,客戶隨後可以驗證結果。TEL Mark V光致抗蝕劑裝置是研制和蝕刻電子元器件及其它復雜零件的可靠而有效的方法。它的自動化機器有助於降低人工成本和提高產品周轉時間。該工具保持高標準的精度和質量,確保每個零件的生產符合客戶的規格。
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