二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293758569 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 293758569
Coater / Developer systems.
TEL/TEL/TOKYO ELECTRON MARK V光刻膠設備是為光刻加工而設計的硬件、軟件和化學的特殊組合。它專為高精度光學光刻而設計,采用鉻酸鈉濕蝕刻工藝清洗其部件,並提供集成電路制造中最好的分辨率特征。TEL Mark V采用多種光學解決方案,例如具有線性結構的高動態範圍圖像傳感器陣列,非常適合低分辨率的低噪聲性能。TOKYO ELECTRON MARK-V為近場成像提供了廣泛的焦點深度,提高了底物的處理速度,減少了與較長曝光時間相關的像差。該系統采用高功率激光器,具有廣泛的光譜範圍,在耐火烘烤過程中提供更精確的精度。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V還具有雙級工藝能力,與單級工藝相比,可提供更好的效果。一系列可獨立調節的噴頭以不同的速率分配過程中使用的不同化學品,從而進一步控制了結果。MARK-V還采用了一種專有的自動對準裝置,以確保其組件遵守嚴格的制造公差。此外,該機還配備了高精度檢測機,使用戶能夠快速驗證其結果的可打印性和可靠性。TEL MARK-V在一個潔凈的房間環境中運作,使用空氣電離器來減少空氣中的顆粒和盡量減少汙染物。此外,這臺機器還配備了一個綜合安全工具,可對臭氧和氧化物等汙染物進行監測,對其水平的突然上升立即作出反應。最後,TOKYO ELECTRON MARK V為各種應用和壓力提供了廣泛的食譜庫,為用戶提供了很大的靈活性,並為他們的特定過程提供了廣泛的選擇。Mark V是一種功能強大、用途廣泛且高度精確的光阻資產,它結合了先進的光學設備、高功率激光器、精密光學設備和化學設備,以提供集成電路制造中可用的最佳分辨率特性。它易於設置和操作,是專業設計師和DIY愛好者的理想選擇。TEL/TOKYO ELECTRON Mark V具有廣泛的應用和量身定制的配方,非常適合充分利用光刻項目。
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