二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293758869 待售

ID: 293758869
優質的: 1996
Coater / Developer system 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist Equipment是為精密晶圓處理而設計的高端、功能強大的光阻開發系統。TEL Mark V利用一個光源,配有波長濾波器,在矽、砷化氙和其他半導體基板材料上開發光刻膠圖像。濾波器有助於調節強度水平和波長,從而獲得準確一致的結果。該濾光片被設計為接受一系列光源,如紫外線、可見光和接近紅外的不同功率水平的光源。這種光敏裝置還具有「浮動」聚焦機制,允許較大的聚焦範圍和更大的定位精度。此功能可提供高達1微米的聚焦精度,並確保均勻一致的成像。TOKYO ELECTRON MARK-V利用精密級機控制晶圓尺寸和定位。該工具允許用戶以納米範圍內的步長分辨率移動舞臺。它還配備了內置的WaferMapper功能,使用戶能夠準確監控工藝條件和參數。在安全方面,TOKYO ELECTRON MARK V配備了很好的防護功能。這些功能符合UL和CE標準等全球安全標準。它還配備了排氣過濾器資產,通過控制廢氣來提高用戶安全。TEL MARK-V具有用戶友好的界面,允許平穩輕松的操作。界面顯示流程設置的可視映射,使用戶可以更好地了解流程條件。此外,TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V還提供故障管理和錯誤檢測。它配有網絡接口,提供快速的信息共享和與其他系統的輕松連接。總體而言,Mark V Photoresist Model憑借其輕型濾光片、高度精確的舞臺設備和用戶友好的界面等先進功能,為高端精密晶圓處理應用提供了理想的解決方案。它的安全特性有助於提高用戶安全性,故障管理和錯誤檢測有助於快速準確地檢測任何潛在問題。所有這些特性使MARK-V成為那些尋求高端、精密晶圓處理的人的理想選擇。
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