二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293759031 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一款高度先進的光阻設備，專為半導體器件的精確陣列設計。該系統能夠在基板上產生各種形狀和大小的高分辨率圖案。它是一種非常先進的技術，利用先進的光學系統、高精度的自動化階段和精確的機器人技術來實現精確的對準和對準。該單元精度高，位置重復性為0.5微米，研磨精度為0.5微米，傾斜精度為0.5微米。這樣可以確保即使使用多代產品也能實現精確的陣列和形狀。此外，機器還可以處理直徑達600mm的基板。該工具配備了全自動精密高精度光學測量資產，使精確測量能夠快速準確地進行。此模型還允許根據先前測量的值自動校正和優化圖像。該設備被編程為執行各種任務，包括掩蔽、曝光和拆除。遮罩涉及使用覆蓋基板的光敏材料，這是專門為防止光線到達基板而設計的。曝光是將掩模暴露在特定量的光下激活化學敏感材料的過程，而去除則是去除掩模以獲得所需圖案的過程。TEL Mark V配備了激光修整系統，用於激光修整圖樣特征。這樣可以對基板進行高精度的修剪和蝕刻,消除圖樣中不需要的特征,並提高圖樣的精度。所有這些能力使TOKYO ELECTRON MARK-V成為極先進的光阻裝置。它確保了高度精確的陣列功能和可重復性,使其非常適合各種工業應用。它能夠在基板上產生各種形狀和尺寸的高分辨率圖樣，具有精確的定位和可重復性，適合生產半導體等精密器件。