二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293793330 待售
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ID: 293793330
優質的: 1993
(1) Coater / (2) Developer system.
EMO Function
DEV Spin chuck
Coat spin chuck
IND Unit
ARM Carrier station
BU Unit
(3) Pins col
I/F Unit
Cooling plate temperature: 23 ± 0.2°C
Refrigerator
Utility check:
N2: 4.5 kgf/cm²
VAC: -73.3 kPa
CDA: 3.5 kgf/cm²
DIW: 1.0 kgf/cm²
Chill water: 3.0 kgf/cm²
AD Inner chamber pressure: ≤ 347 kPa
Power supply: 100/200 V ± 10%
1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是用於高分辨率半導體光掩模制造的先進光刻設備。光致抗蝕劑系統用於將圖樣傳輸到晶片上,用於集成電路（IC）制造。TEL Mark V是一個可靠、高性能的系統,能夠為市場上最具挑戰性的設備提供精確的性能。TOKYO ELECTRON MARK-V構建時具有1.2 nm的高光束質量,並具有超高可讀性（SHR）監視器單元,可確保整個光盤圖樣區域的過程精度。它擁有可定制的15英寸液晶觸摸屏顯示屏,可保持卓越的圖像分辨率。機器通過一套全面的軟件和自動化過程來控制層厚度和各向同性蝕刻速率。其中包括等離子體源互鎖工具和在線監控資產，這有利於安全和生產力。TEL MARK-V還通過具有等離子體模擬蝕刻速率控制的智能PVT（光刻溫度）消除酸蝕速率的不均勻性。該模型將晶圓溫度調整為溫度和濕度的變化，同時也在蝕刻過程中控制等離子體能級。智能PVT以比傳統系統產生更少的圖樣邊緣粗糙度而著稱，允許更高的圖樣保真度。在節省時間和成本方面，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V配備了超速步進重復（SSSR）掃描儀和集成的Resister Coater-Developer。這兩種自動化機制分別減少了工作的時間和成本，如膠片處理和掩模對齊。此外,該設備還配備了高度可靠的光掩碼卸除器,有助於最大限度地減少體力勞動,從而減輕頻繁硬件維護的壓力。總之，MARK-V是一種用於高端IC制造的先進光刻膠系統。該單元具有保證精度的特點，如高光束質量、智能PVT、SSSR和集成的抵抗塗層-顯影器功能。通過這些功能,用戶可以受益於更高的機器準確性和成本節約。
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