二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293821345 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一種光刻設備，允許在光刻中進行精確的圖樣化。光刻是許多行業的重要工具，因為它被用來對材料的薄膜進行圖樣化，用作半導體、光學薄膜和其他器件。TEL Mark V是一個高級系統,具有多種功能以確保最高質量的陣列。TOKYO ELECTRON MARK-V使用深紫外線（DUV）光源來曝光薄膜，以創造所需的圖樣。這種光源的波長為248納米，通過光掩模發送，這種光掩模阻擋了一些光，並允許其他光穿過下面的晶圓。遮罩由不透明區域或窗口的圖樣組成,這些區域或窗口在晶片上創建圖樣,然後選擇性地塗覆光刻膠。對通過掩模的光的嚴格控制導致了分辨率為0.45微米的圖樣。光掩模本身通過真空卡盤固定在設備上。這樣,在處理和加載設備時,無需接觸光掩碼的表面即可固定掩碼。然後使用物理和光學對準,沿x和y軸對掩模進行高精度對準。這樣可確保蒙版在曝光前和隨後的每次曝光時都正確對齊。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V還具有自動對焦控制功能。光學傳感器分別測量從設備到下遊表面和從光刻膜到下遊表面的距離。然後，焦點控制將調整光掩模和基板的高度，以確保最高質量的圖樣。最後，Mark V有一個創新的基板冷卻機，確保晶片在均勻的溫度下運行，以防止光刻膠膜隨時間的變化。這進一步確保了最高質量的陣列,即使在要求最苛刻的應用程序中也是如此。所有這些特性的結合使得TEL MARK-V成為市場上最先進的光刻膠系統之一。先進的照明源、高精度對準、自動對焦控制和基板冷卻工具提供了最高分辨率的圖樣。此資產非常適合任何需要極高的準確性、一致的結果和可靠性的應用程序。