二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9033679 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V是一種用於半導體生產的最先進的光刻設備。它設計用於處理各種光敏材料，包括化學放大和非化學放大抗蝕劑配方。TEL Mark V系統經過優化,可提供卓越的分辨率、卓越的線條邊緣/寬度性能以及卓越的邊緣放置精度。它還設計用於提高每個基板的吞吐量,從而實現更大的成本節約。TOKYO ELECTRON MARK-V單元使用TEL Helios FT-IR光譜技術達到最高性能，使其能夠處理廣泛的光學組件和基板。它的低溫控制使整個基板具有優異的蝕刻性能和更好的均勻性。該機還提供了一個集成的微光追蹤工具，用於優化成像和線緣粗糙度，以及實時優化劑量、劑量均勻性和蝕刻速率。資產配備了多種先進特性，非常適合高產生產。它有一個高速多路復用模型，用於基板加載和卸載，以及用於陣列和對齊。它還有一個模塊化的軟件包，用於控制膜厚度和折射率等剩余的非照片特異性參數。由於其模塊化，設備允許增加額外的功能，以提供更大的吞吐量和成本節約。TEL MARK-V系統還提供了一個自動寫入字段對齊單元,可實現更高的字段精度和減少機器停機時間。其集成的E-Beam/Stepper工藝控制允許在Stepper和e-Beam工具之間實現卓越的連接和優化。該機還具有集成的基於電子束的覆蓋層和水性清潔工具，以實現更快、更可重復的蝕刻。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V被設計為支援最高性能的光刻膠工藝。其強大的技術、廣泛的特性和出色的連通性使其成為半導體制造的理想選擇。