二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9054827 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist Equipment是一種先進的自動化塗層和開發系統,專門設計用於光刻回流和光刻。光致抗蝕劑是一種光敏材料，用於光刻，以創建表面微觀圖樣。該機組配備先進的智能過程控制（IPC），精度提高，溫度控制完善，精度最高。該機配有一個環境室，采用了一種專利自調節流動技術，高效、準確地塗覆了具有最佳沈積的基板。這樣可以確保塗層均勻,並且在廣泛的溫度範圍內性能一致。該工具還配備了提供精確配方控制位置和均勻晶片的先進成像技術。此外，高容量塗層雙定位機構有助於基板加工，而伺服控制臂驅動塗層的均勻性。TEL Mark V資產實現了整個光刻過程的自動化,並結合了動態加熱模型和可針對各種應用進行調整的波動式熱控制等功能。它的高速沈積後設備增加了生產吞吐量，使得更多的飾面對基板的應力更小。此外，系統擁有先進的激光掃描單元，能夠精確捕捉光刻圖樣，並根據圖樣控制可移動元件。TOKYO ELECTRON MARK-V光致抗蝕劑機具有高性能的清潔循環，為多種基材提供安全有效的光致抗蝕劑層。它內置的過程控制功能指導和監控操作，不斷調整和優化參數以確保最高質量的結果。這樣可以確保更一致的性能、更好的產量以及最終更高的整體效率。MARK-V工具旨在最大限度地提高基板損耗的過程吞吐量，並可與現有光刻設備集成，提供最高精度。