二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9111393 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist Equipment是一個過程集成的無掩碼光刻系統，提供優於傳統的掩碼制作和光刻工藝的制圖能力，使其成為一系列先進應用的理想選擇。該單元由一系列組件組成，每一個組件的設計都是為了提供精確和高效的模式能力。機器的核心是光光掃描工具，用於將圖像投射到基板的光刻層上。該資產包括高分辨率激光掃描儀、雙掃描光學模型和微調光學模塊。該設備能夠在高圖像質量的基板上實現出色的光刻。TEL Mark V由基於Windows 10的用戶友好系統控制器提供支持,該控制器允許對設備組件進行精確且可重復的控制。控制器配有圖形化的光掩碼編輯器和各種應用軟件，以協助光刻工藝的設置和自動化。在光刻機開始時，使用對準工具來精確地記錄基板，並確保它們正確定位成像。該工具還配備了晶片夾緊機構，以確保基板在曝光過程中保持靜止。為了保證圖像的最佳清晰度，TOKYO ELECTRON MARK-V具有非接觸式激光測量資產，以精確控制光照圖樣的強度和均勻性。該模型還配備了樣品監測設備，能夠實時分析基板的放置和暴露情況。在成像方面，這種光刻膠系統能夠產生分辨率為0.2 um、線寬降至0.2 um的圖樣，使其適用於包括半導體、MEMS、光學傳感器等在內的一系列應用。為實現高效、方便的操作,Mark V具有直觀的用戶界面,允許用戶配置、監視和診斷設備組件。該機器還具有一系列錯誤檢測功能,可提供可靠的過程控制並最大程度地減少停機時間。總體而言,TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist Tool是光刻技術的先進而強大的選擇,其用戶友好的軟件和直觀的用戶界面提供卓越的成像能力和高效的操作。