二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9111401 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是為半導體和先進包裝行業的先進光刻工藝而設計的光刻設備。利用真空幹燥系統，利用真空從室內抽出空氣和水分，提高了光刻工藝的精度。該單元具有高功率激光投影單元，使其能夠精確投射激光圖樣到高分辨率的基板上。它能夠支持小型和大型視場操作，並為各種應用提供廣泛的激光波長。TEL Mark V配備了高精度的激光束對準機，能夠精確控制激光圖樣進行高質量生產。它還與先進的振動控制系統相結合，以提高表面平滑度和精度。該工具還具有自動調平資產，能夠實現相對平坦的表面和可重復的模式；這樣可以在較長時間內提高工藝一致性和產率。該模型還與自動化激光控制設備集成在一起，使用戶能夠調整激光脈沖的頻率和投影方向，以進行優化處理。采用多軸電機系統進行逐層校正和校準，提高了光刻工藝的性能。為了減少用戶與設備之間的物理接觸，機器與可編程邏輯板集成在一起，該邏輯板可以像在電子電路板上一樣執行命令和預設值。此外，該工具還集成了先進的模擬程序，可以檢查設置的正確性，提前測試TOKYO ELECTRON MARK-V的整體性能。此功能使用戶能夠在實際進程開始之前識別和調整進程參數。最後,資產還具有可追蹤性管理模型,該模型記錄過程的每個步驟,並在整個制造過程中提供基於數據的審核跟蹤。