二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9225994 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一種用於制造半導體集成電路和其他微電子器件的光阻設備。該系統旨在提供精確的層壓精度以及高精度的塗層和曝光控制。光敏裝置包括微處理器控制機、視覺工具和一系列可編程紫外線（UV）和光學曝光源。微處理器控制層壓和均勻塗層工藝、視覺資產和曝光設置,並為用戶提供執行常規和臨時工藝調整的能力。該型號具有各種適合生產過程的紫外線和光學曝光源選項。其中包括532nm和1064nm激光曝光源、準分子、ArF和KrF兼容曝光源，以及平臺支持的多重曝光源。TEL Mark V光刻膠系統的視覺設備提供了對整體膠片均勻性和均勻性的精確控制。此外，該單元使用超細步進達到高水平的基板和層精度。TOKYO ELECTRON MARK-V光刻機可以處理包括矽、玻璃和金屬在內的多種基板，也可以處理最小尺寸為5um的束步應用。它還旨在促進廣泛的生產過程,包括蝕刻、圖樣打印和層傳輸。該工具能夠提供許多旨在提高生產效率的功能。這些包括連續生產的在線加工、高吞吐量、模式優化和基板匹配能力。為實現精確操作並保持最高一致性,TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V光刻膠資產包括跟蹤監視、自動校準以及可視化和監控模型等過程控制功能。該設備還提供警報設置、數據記錄、統計分析和支持多種通信協議。總體而言，MARK-V光刻膠系統是一種先進的光刻膠裝置，能夠提供可靠、可復制和高精度的塗層、層壓和曝光性能。該機器的集成視覺工具以及廣泛的曝光源和智能過程控制功能使其適合需要精確可靠結果的生產環境。