二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226368 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一種光刻設備，設計用於半導體及相關產品的精密蝕刻和光刻制造。該系統結合了曝光、化學蝕刻和曝光後烘烤，以產生高保真度的精確面罩圖案。該單元使用14層的浸入式光刻膠（ITP）彈匣應用於晶圓基板。光致抗蝕劑是透明的有機或無機材料，可以暴露在光源下形成化學活性層。當活性層暴露時，暴露的區域可溶於顯影劑，然後有選擇地去除。此蝕刻過程的結果是光刻膠中的圖樣轉換為所需的圖樣。TEL Mark V具有異常大的曝光室，結合高分辨率的光學機器和高分辨率的致動機構，以提供ITP的精確曝光。這些特性以及精確的放大倍率和16位數字信號處理分辨率的測量提供了無與倫比的光刻工具,分辨率可降至0.68微米。TOKYO ELECTRON MARK-V具有幾種曝光後烘烤功能和工藝，以確保高質量、高保真模式。這包括烘烤後和多步烘烤後,具有控制環境中化學品釋放和空氣清潔度的額外能力,以實現最大程度的控制。高分辨率測量模塊也可用於MARK-V，它從曝光室數據預測預期的芯片尺寸和波長。資產可以與測量設備集成，以獲得對成品芯片尺寸和數據的高度精確的測量。Mark V的光刻膠模型為用戶提供了最佳的圖樣質量，同時提供了最大的效率和成本節約。TOKYO ELECTRON MARK V的創造性設計、精密蝕刻能力和高保真圖案，使其成為先進光刻應用的理想選擇。