二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226370 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一款提供卓越工藝控制和性能的卓越光刻和跟蹤設備。它專為高產量的蝕刻和開發過程而設計,具有一系列功能和組件,可實現較高的操作精度。此外，TEL Mark V確保在轉移和開發的光刻膠中復制圖樣是準確和高效的。該系統配有集成過程控制單元，可自動監控關鍵蝕刻參數。這包括監測、自動校準和精確控制所用光刻材料的蝕刻速率。此外,此單元還可以在一系列點上快速施加均勻的層厚度,確保蝕刻達到最佳水平。TOKYO ELECTRON MARK-V能夠在較長的處理時間內進行單層和多層的光敏處理。這樣可以顯著節省時間和成本,避免過程控制和生產延遲。這些系統還能夠進行可重復的高對比度開發，以及高精度的多層光刻。此外，機器可以開發非常小的模式，沒有任何邊緣或重叠。Mark V包括一個幹蝕刻單元，因此可以在不需要濕法化學品的情況下進行蝕刻。這加快了光刻膠的處理時間，比傳統的蝕刻方法更有效率。該工具還包括一個自動檢查資產和圖像處理，以確保蝕刻圖像正是它的原意。此外，它可以快速清潔和反沖光刻材料和跟蹤材料，以防止任何移動在蝕刻過程中。總之，TEL MARK-V是一種極具優勢的光阻和跟蹤模型，提供精確的過程控制和可重復的精度。它能夠準確高效地執行精確的蝕刻和開發過程,非常適合高產量的應用。該設備還具有先進的功能，如自動檢查、圖像處理和幹蝕刻能力，以進一步簡化光刻工藝。