二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226372 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一種光致抗蝕劑設備,設計用於在分辨率高達100 nm的大晶圓區域上對薄膜層進行最佳成像。它使用色差校正透鏡，以獲得極高的分辨率和高劑量的曝光時間短。TEL Mark V系統由使用準分子激光作為光源的脈沖激光源供電。該裝置能夠以0.23毫秒的時間分辨率提供高劑量暴露。激光源在技術上是穩定的，在整個晶片上具有極好的均勻性。TOKYO ELECTRON MARK-V機器配備了「空中」（Over-the-air，OTA）的曝光劑量和深度均勻性測量。這允許對光刻膠圖像的質量進行高精度控制。該工具可以幫助簡化光刻過程，其直觀和易於使用的軟件。它可以提供成功的光刻工藝所需的所有參數。它還允許有效的配方和參數控制、錯誤預防和原位過程控制。該資產具有出色的穩定性和較低的維護要求,從而提高了生產率。它允許精確定位、高精度對齊和對齊反饋。它還在一個位置OTA中支持各級和負載高達200 mm的晶片。MARK-V光刻膠模型是工藝工程的可靠工具，其使用有助於降低制造成本，允許在基板較大的區域上實現多光刻膠層的性能。該設備適用於精密、小型式臨界器件的生產.