二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226373 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist設備是為生產高品質半導體器件而設計的先進光刻工具。該系統結合了先進的光學和機械設計,以高效的圖像傳輸到晶圓上。其功能包括高精度圖像投影單元、自動色彩對齊和完全自動化功能。該機器能夠投影分辨率高達4um的平版圖像,用於先進的晶圓制造工藝。該工具利用先進的照明器將高強度光源投射到光刻塗層晶片上。該照明器具有集成的光學資產和掃描儀,以確保最高的圖像質量和準確性。圖像對齊模型是利用一種特殊的算法來補償光源中的偏差,從而導致圖像在晶圓上的高度精確定位。圖像對準後,設備再使用步進電機在晶片上精確移動掃描級,從而更精細地控制投影和曝光時間。TEL Mark V Photoresist系統還具有獨特的Color Alignment功能。此特征有助於在光刻膠層上投影時獲得精確的色調。它自動調整光源上的RGB顏色參數,確保晶圓上的圖像投影高度精確。此外,該單元還包括一個完整的自動化能力,允許用戶編程和控制完整的操作。這樣就提高了生產吞吐量,減少了操作員疲勞。TOKYO ELECTRON MARK-V光刻機能處理多種晶圓尺寸,支持大量生產。它還設計為即使在惡劣的環境中也能提供高性能,因此非常適合用於自動制造生產線。這種先進的工具提供了卓越的圖像分辨率和可重復性,確保了卓越的設備質量。總體而言,TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist資產是光刻和光刻加工的先進、通用和堅固的模型。它可確保高精度和重復性,支持各種晶圓尺寸,並最大限度地減少人工輸入和實現自動化處理。對於半導體制造而言,Mark V設備是高質量結果的理想選擇。
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