二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226374 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是為現代半導體處理應用提供多重功能的光刻設備。它旨在滿足每一個正在處理的獨特樣本的特殊要求，使結果更加高效和精確。系統的工作原理是將樣品暴露於改變樣品屬性的光線下。這使研究人員能夠為隨後的光刻過程或其他蝕刻過程精確地繪制光刻膜或其他薄層的圖樣。TEL Mark V的設計具有多種功能,使其用途針對手頭的應用程序進行了優化。它能夠處理和調整暴露水平，以適應各種樣品的要求。它還具有多種過濾器類型,並且能夠輕松調整每個過濾器的強度,以確保滿足樣品的要求。其高分辨率相機也經過專門設計，以提高精度。為了準確曝光樣品，TOKYO ELECTRON MARK-V單元使用了紫外線和可見光源的組合。機器具有自動聚焦功能,可將焦點調整到每個樣本的最佳級別。通過自動傳輸選項,可以加快傳輸時間並提高生產速度。該工具的高度控制有助於確保精確和可靠的模式。它配備了標準或定制級別的多級曝光功能。這使得每個特定應用程序都能快速開發和優化過程。MARK-V資產還提供全面的加工能力和對各種基材的控制。它具備處理特定薄膜厚度和分辨率的能力，以確保高精度的圖案。模型還自動補償來自基板的色散。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V是一種強大的光刻設備，專為高效和精確的光刻工藝而設計。它能夠自動處理曝光級別、過濾器類型、聚焦和傳輸速度,從而改進模式形成。它對基板材料和薄膜厚度提供了更高水平的控制，使圖樣更加精確可靠。