二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226375 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist Equipment是一種光刻工具，設計用於在矽晶片上精確、均勻的光刻。該系統是多年開發和創新光刻沈積蝕刻工藝的結果。它被設計為在極地下基板上制造集成電路的可靠、高效的工具。TEL Mark V被半導體制造商用來在基板表面沈積和蝕刻光刻石層，然後才能開始制造過程。這個被稱為光刻的過程，對於以精確準確的方式將電路模式轉移到矽片是必要的。TOKYO ELECTRON MARK-V的先進技術配備了2D分辨率控制、穩定的均勻性、潔凈性和高性能水幹顯影劑的選擇。所有工具的設計都能容納直徑達300毫米的基板,並提供最佳的結果,可靈活安排多達四個儲罐。Mark V采用雙室或雙櫃設計,比標準光刻工具提供更高的清潔度。潔凈室設有隔離層，密封大氣，幾乎消除了所有的環境汙染。MARK-V還利用了一種特殊的軟件，旨在創建具有完全一致性和準確性的復雜圖像模式。該裝置能夠加工各種光敏材料，包括自旋塗層和噴塗塗層。對TEL MARK-V進行了優化，以減少顆粒汙染，在1 μ m至2 μ m的範圍內提高抗蝕膜厚度的均勻性。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V提供了令人印象深刻的性能優勢列表。能精確抵抗薄膜厚度控制，高分辨率圖樣，工藝時間快，清潔度達99.5%。密封和低粒子排放，以及良好的均勻性。此外,該機器還提供靈活的雙色潤濕,並利用各種自動化技術,便於配置、編程和操作。TOKYO ELECTRON MARK V是一種非常堅固可靠的工具，並得到其制造商的全面服務計劃的支持。