二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226376 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一種光刻式單晶片製造設備，設計用於在半導體器件中產生高度精確和均勻的特徵。該系統的工作原理是將晶片表面暴露於來自特殊光源（如激光器）的光圖案中。這種光的圖樣在晶圓的光致抗蝕層中產生潛像，然後在光刻過程中用於創建微結構。TEL Mark V單元通過提供對曝光過程的精確控制,提高晶圓產量和加工質量。這包括先進的光強度控制和運動控制，允許用戶根據設計規範精確調整光源的曝光強度。TOKYO ELECTRON MARK-V機裝有包括高性能折射透鏡的精密光學工具。這些透鏡在整個晶片上提供均勻的光分布，並實現精確的光曝光控制，消除曝光水平的任何變化。這樣可以確保整個晶片的暴露水平保持均勻,從而產生性能不變的均勻微結構。TOKYO ELECTRON MARK V資產具有一個敏感的溫度控制模型，在整個曝光過程中保持穩定的溫度，確保了一致的光刻膠質量。該設備還提供了一個自動晶片登記系統，可以精確定位晶片，避免在光刻過程中出現任何偏移或錯位。此外，Mark V支持多種不同的光刻膠測量，為測試光刻膠質量提供了廣泛的條件。這允許對光刻膠進行準確、實時的監測，使用戶能夠對曝光過程進行任何必要的調整，以確保所需的結果。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V是一種高度先進和可靠的光阻裝置，旨在在半導體器件中始終如一地生產高質量的微結構。機器的精密光學、溫度和配準系統為用戶提供高精度和對曝光過程的控制,確保可重復的結果不受性能變化的影響。