二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226377 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一款為先進的納米加工和器件制造而設計的光刻設備。該系統基於一種復雜的掃描配置，其中使用單個激光將一系列模式傳遞到不同的基板上。激光束通過透鏡、二色鏡和其他允許大面積模式書寫和蝕刻的元素，分辨率低於100 nm。精密的掃描單元和精確校準的原位補償器可實現快速的模式傳輸時間和高精度。TEL Mark V光刻機配備了先進的控制功能，提供超高分辨率的圖樣。其具有圖像穩定技術的快速、精確的光學工具與先進的微處理器控制器配合工作，直接驅動步進電機的光束位置。這種控制功能提供了比傳統系統更好的速度和精度。TOKYO ELECTRON MARK-V資產提供出色的薄膜選擇性，提供高放大倍率和優越的圖像質量的亞微米特征分辨率。光學模型即使在最具挑戰性的蝕刻過程中也能提供高分辨率。其可變的光束大小和功率水平允許嚴格控制曝光和蝕刻時間，從而可以創建復雜的結構。TOKYO ELECTRON MARK V還包含了設備總量控制的重要高級功能。其開放架構支持與現有系統的集成，提供對所有過程參數的靈活控制。該系統包括用於模擬蝕刻模式的內置軟件工具。它還能夠根據掃描速率或基板表面的變化自動調整曝光。TEL MARK-V配備了集成的安全功能,包括封閉式掃描室、保護膜和氮氣清除系統。其自動化、易於使用的操作也使其適合用於低成本的研發環境。憑借其先進的特性，Mark V提供了生產高分辨率納米尺度特性所需的靈活性和準確性。