二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226378 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一種高精度的光致抗蝕劑設備，用於在半導體基板上蝕刻錯綜復雜的圖樣。它是一種提供高精度、高速膠片開發的單波長光刻系統。TEL Mark V利用計算機控制光學單元（CCOS）和氣相曝光工具（GEPT）簡化蝕刻和圖樣制作過程。TOKYO ELECTRON MARK-V提供出色的分辨率和特征的均勻性以及高速膜的開發。它配備了先進的模式對齊機（PAS），提供實時的曝光位置校正，使其能夠高精度地在基板上定位模式。此外，開發工具高速精準，具有高通量的電動激光基抗蝕劑對準和均勻曝光。Mark V提供了種類繁多的暴露的氧化膜和減少的氣孔，通過使用極薄的線條和緊密成型的特征，允許更大的設計靈活性和改進的電路性能。它還提供了一種先進的線緣粗糙度（LER）降低資產,以實現卓越的陣列化結果。TEL MARK-V通過其化學前體控制機制和抗蝕劑參數的微調，確保了高性能、高音高、小尺寸的設計。MARK-V模型憑借其先進的特性,非常適合高度復雜和復雜的抵抗應用。它非常適合需要快速、精確、精確蝕刻解決方案的應用，例如在半導體晶片和內存芯片的制造中。它高速的薄膜開發、最優的模式對準能力，以及先進的LER還原設備，使得它在需要精確的模式時成為可靠高效的選擇。