二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9234099 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是由TEL Ltd開發的光刻膠設備。該系統旨在為半導體制造商提供改進的光刻工藝。它采用步進和掃描儀組合軸，有助於將電路模式準確可靠地傳遞到大面積基板上。TEL Mark V配備了集成數字信號處理（DSP）環境，簡化了對流程的控制，減少了人工幹預的需求，簡化了配方開發。它還有一個LEAP半導體檢查組，為測試目的提供具有多波長光的高分辨率成像。LEAP機還可以測量模內工藝特性，然後根據需要采取糾正措施。此外，該工具包括一個表面張力模塊和一個ultrathin topcoat。這允許形成超光滑的表面，消除任何可能由表面變化引起的幹擾。這確保了均勻的沈積，並防止產生可能導致轉移過程失真的細微溝槽和山脊。此外，它還配備了一個無掩碼光刻資產，其特點是紫外線暴露與多激光蓋。這樣可以實現更快速、更精確的曝光過程,並具有最小的線寬變化。它還具有降低線路損耗和增加覆蓋精度的高功率激光器。總體而言，TOKYO ELECTRON MARK-V模型為先進的半導體制造要求提供了可靠而精密的光刻工藝。它是為易於使用而設計的,具有直觀的用戶界面,以及高精度和各種工藝參數的可變重叠,使其成為最通用的系統之一。