二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9241680 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V（TEL/TEMV）是一種用於半導體器件生產工藝的光刻設備。它被設計成一種多用途、高通量的工具，用於先進半導體器件的晶圓後制造。TOKYO ELECTRON/tEMV系統具有獨特的直接寫入、半自動操作功能,可實現精確且可重復的處理效果。它配備了高精度的激光書寫頭、強大的定位平臺、高效的微型掃描單元。這些進步確保了TEL/TOKYO ELECTRON/TEMV產生優越且高度精確的光阻圖樣。TEL/TEMV機的主要用途是處理平板顯示器中使用的薄膜晶體管（TFT）。TFT幫助控制顯示圖像的電壓和電流,並為屏幕提供清晰、高清的圖像。通過使用TOKYO ELECTRON/TEMV，在TFT器件上沈積金屬膜或制造氧化物材料所需的關鍵步驟以高精度和高速執行。TEL/TOKYO ELECTRON/TEMV工具也適用於一些先進的集成電路（IC）工藝。這包括形成溝槽結構和3 D晶體管以及導電層制圖過程。這樣可以實現更高的電路速度、更高的分辨率和更好的整體性能,同時仍能在光刻膠陣列制作過程中實現卓越的精度和一致性。TEL/TEMV資產產生與各種材料和輪廓兼容的光刻膠圖案。這包括聚合物、導電底物和單晶片結構。它具有廣泛的材料兼容性和連續操作,可實現更好的吞吐量、更低的成本和更一致的模式。另外，TOKYO ELECTRON/TEMV模型被設計得極為人性化。它利用了一系列的自動控制，可以快速、方便地設置各種各樣的子流程和材料。該設備還具有直觀的用戶界面，可以輕松控制系統和過程參數。TEL/TOKYO ELECTRON/TEMV是半導體生產過程中的絕佳工具,因為它提供了卓越的精度、吞吐量和可重復性。其先進的特性還提供了最佳性能，從而為各種半導體應用提供了高度可靠和精確的光刻膠圖樣。