二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9250080 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是用於多種微加工應用的先進光刻設備。光敏材料是一種光敏材料，用於多種類型的工藝，包括半導體器件制造、微機電系統（MEMS）、平板顯示器（FPD）生產。TEL Mark V有助於光刻材料的精確塗層和圖案。該系統由一個CT17系列塗層室、一個高級陣列單元和一系列外圍設備組成。CT17系列采用高精度、高速覆蓋，最大均勻度± 0.2%。這種塗層室可用於各種類型的光刻膠材料，包括幹膜光刻膠、溶液和潤滑劑。它還有一個集成的循環空氣幕，有助於實現高度的均勻性和更長的曝光時間，使其成為先進的光刻應用的理想選擇。TOKYO ELECTRON MARK-V上的先進制圖機具有兩個獨立的輻射器，每個輻射器的最大曝光功率為10倍。這允許更大範圍的曝光角度和更高的縱橫比，這對於現代的微加工工藝來說是必不可少的。制圖工具還具有內置的對齊資產，以確保光刻膠在基板上的精確放置和對齊。TOKYO ELECTRON MARK V的外圍設備包括超聲波清潔器、熱板自旋處理器和曝光軌跡控制器。超聲波清潔劑用於在蝕刻或曝光之前清潔光刻塗層底物。熱板自旋處理器允許對基板進行精確控制的加熱，這對於光刻膠的均勻塗層是必不可少的。曝光跟蹤控制器提供步進或伺服驅動的曝光過程,確保準確的移動和最大的吞吐量。總之，TEL MARK-V為微加工應用提供了可靠有效的光刻膠模型。由於其高精度、高速的覆蓋和精確的制圖能力，這種設備適合廣泛的光刻工藝。Mark V結合其各種外圍設備,為各種微加工工藝提供了經濟高效的解決方案。