二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9250081 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是一款光刻膠設備,旨在支持廣泛的高精度和高速膜處理應用。該系統專門設計用於生產半導體器件、光盤和印刷電路板。它提供了高速、高分辨率、低擁有成本的三維膠片處理工作流程。TEL Mark V配備了掃描激光曝光單元(SLES),該單元配備了工業級驅動器和高分辨率成像鏡頭。這臺機器能夠在X軸和Y軸上轉移焦點,從而能夠高效生成大型和復雜圖案的圖像。它還具有提高激光功率穩定性精度的自動校正技術,以優化曝光。它提供各種用戶定義的分辨率設置,從每英寸0.5到900行,以實現最高的光機精度。TOKYO ELECTRON MARK-V還配備了薄膜測量和顯影工具(FMDS)。該資產有多個處理部門,可以同時測量和開發正負光抗蝕劑。它可以支持多種曲面類型,包括光滑、蝕刻和粗糙的曲面。它還可以處理包括SiO2、Quartz、矽片等多種底物。該模型具有高精度薄膜厚度測量和精度對準,以提供最高的基準精度。Mark V能夠為光刻膠過程提供高級數據管理和錯誤檢查。該設備旨在提供可靠且易於控制的環境,並具有安全的數據傳輸和準確的結果。它支持虛擬網絡通信協議,以便於訪問數據中心和控制室。它還擁有高速數據傳輸系統,以確保快速可靠的數據傳輸。TEL MARK-V專為當今苛刻的半導體器件、光盤和印刷電路板生產環境而設計。它為膠片加工提供了一個高精度、高速度、可靠的單元,擁有成本低。它結合了SLES、FMDS和數據管理功能,使其成為任何生產環境的理想選擇。
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