二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9265517 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist Equipment是專門為處理高端半導體器件而設計的高性能系統。它是一個交鑰匙光刻裝置,提供卓越的性能和靈活性,以滿足當今先進半導體技術的嚴格要求。TEL Mark V Machine擁有創新的硬件,旨在應對雙陣列、3D集成電路和光學浸入式光刻等高級工藝的挑戰。該工具包括旋轉晶圓座、晶圓調平系統、晶圓旋轉系統、先進電子束系統、先進照明光學器件、高精度激光幹涉儀控制的Z軸調節器、晶圓傳輸資產、晶圓分級轉盤、高速配方編程等。TOKYO ELECTRON MARK-V Model優越的性能和靈活性使用戶能夠快速、準確地處理晶圓並獲得可重復的結果。靈活的軟件體系結構允許可定制的配方開發和快速的晶圓周轉時間。設備配備先進的晶圓傳輸系統和高速配方編程，用於快速、精確的晶圓定位。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V單元還包括先進的照明光學器件，針對光刻工藝進行了優化，以實現更高的成像保真度和重復性。先進的電子束系統提供高通量和均勻性的中小型臨界層的高對比度成像。晶圓調平機可確保晶圓在加工過程中的精確放置,從而實現最佳成像質量和監控結果。TOKYO ELECTRON MARK V Tool的靈活性允許快速處理復雜的技術要求。它結合了高精度的性能和快速的晶圓周轉時間,同時在集成新技術方面提供了出色的靈活性。這一資產是設備制造商的理想選擇,他們需要一個強大而可靠的解決方案來滿足其高端半導體處理需求。