二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9276699 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V是由TEL（TOKYO ELECTRON）製造的光刻膠設備。用於半導體工業，用於制造工廠晶圓等微電子元件的加工。該系統的工作原理是使晶片暴露於紫外線之下，紫外線是聚合物材料或光敏塗層沈積的催化劑。然後可以用酸溶液在特定區域蝕刻這種塗層，在晶片上創建所需的結構。此過程對於集成電路的制造是必需的,因為它可以在幾分鐘內創建具有緊密公差的高精度陣列和幾何形狀。TEL Mark V是一個完全自動化的單元，設計為高效可靠。它具有許多高級功能,如閉環晶圓對齊器、高分辨率顯示器和數字信號處理。這使機器能夠精確跟蹤晶片的位置和運動，從而能夠精確處理光刻塗層。該工具還配備了晶圓運輸資產，以減少灰塵和碎屑造成的汙染，以及一個可確保光致抗蝕劑均勻分布的抗蝕塗層室。除了高效的設計，TOKYO ELECTRON MARK-V提供了廣泛的工藝能力。它能夠處理不同類型的光敏材料，如負層、正層、雙金屬層。模型還包括一個稱為「delta-line」的特征，使其能夠根據應用產生不同的模式。這允許MARK-V用於不同類型的任務，如光刻、蝕刻、電鍍、金屬化和裝置結構。此外，該設備具有較長的預期壽命，在任何環境下都能提供可靠和一致的性能。總體而言，TEL MARK-V是一種先進的光刻膠系統，用於電子工業中的各種任務。它提供精確的處理功能、自動化功能和廣泛的流程功能。此外，該設備高度可靠，預期壽命長，性能持久。這些特性使其成為制造集成電路和其他微電子元件的理想解決方案。