二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9290142 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK V光致抗蝕劑設備是一種高性能、高精度的晶圓加工工具，設計用於半導體制造及相關加工應用。它具有獨特的汽車級設計,使其非常可靠和堅固。TEL Mark V以精確控制光刻塗層的溫度和沈積參數而著稱，使沈積光滑，並具有一致、高質量的結果。TOKYO ELECTRON MARK-V可用於各種工藝，如玻璃自旋塗層、光刻、蝕刻。該系統由幾個組件組成：一個濕蝕刻模塊、一個計量單元、一個光刻源、一個電接觸單元、一個熱站和一個控制單元。濕蝕刻模塊有一個工藝室，該室配有雙調制晶片外殼，以及用於晶片預蝕刻的熱水浴。這確保了均勻的濕蝕和良好的溫度控制。計量裝置為光刻膠源提供正確數量的材料，允許精確和一致的晶片塗層。光致抗蝕劑源是一種真空單元，可以在晶片上產生高速、精確、均勻的光致抗蝕劑沈積。電氣接觸單元負責允許從加工室外的工具進行電氣連接，以便隨時對其進行監控，以進行準確的過程控制。熱站調節工藝室溫度，確保精確、可重復的結果。最後，控制單元允許全過程自動化，使用戶能夠從控制單元遠程觀察和控制過程。MARK-V是一個先進的機器，能夠快速和高效的晶圓處理。它設計為可靠一致地運行,並提供出色的分辨率、準確性、可重復性和結果。這使得它成為任何尋求可靠和高效光刻工具來滿足其處理需求的組織的絕佳選擇。