二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9362227 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK V光致抗蝕劑設備是一種精密的系統,用於制造具有精密電路布局和設計的處理器。該裝置能夠向各種尺寸的基板提供精確、高分辨率的光刻膠曝光。由於其簡單的維護和操作,以及高吞吐量和創新的設計特點,是IC生產的熱門廠商選擇。這臺機器有一個先進的設計,它可以處理比傳統系統更大的基板。其精密的腳步機構可容納尺寸達14英寸的基板,足跡小至2英寸。它還可以提供更高的分辨率,在XY方向上可達到3 μ m和5.6 μ m。TEL Mark V光刻膠工具具有強大的激光掃描資產,它利用高分辨率、高頻UV激光器將光刻膠完美地暴露在基板上。激光模型包括一個紅外籠子,以保護激光免受曝光過程中產生的熱量。激光設備還有助於確保光致抗蝕劑的均勻沈積。該系統還配有冷卻塔,用於在曝光過程中冷卻基板。這有助於防止基板翹曲或燃燒,這會導致不良的暴露結果。冷卻塔也有助於暴露過程的均勻性。TOKYO ELECTRON MARK-V光致抗蝕劑單元可配備自動對焦機,使刀具在不同的環境條件下能自動調整曝光參數以獲得最佳效果。此功能對制造商非常有用,因為它需要較少的手動工作並確保一致的結果。該資產還配備了一臺運行復雜圖像處理軟件的車載計算機。此軟件允許模型自動識別和糾正制造過程中的錯誤,從而提高產品質量。計算機還從暴露過程中收集數據進行分析,以使制造商能夠進一步改進其過程。總之,MarkV光致抗蝕劑設備是制造各種IC的精密可靠的解決方案。其先進的設計、強大的激光系統和創新的特性使其成為制造商的熱門選擇。其精確的分辨率和快速的吞吐量提供了卓越的生產質量,而其自動對焦功能、冷卻塔和圖像處理軟件使其成為一個非常人性化的單元。
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